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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10 全自動槽式(shì)清洗機的特(tè)點與用途 全自動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光伏領域裏的CMP後清洗工藝。清洗機可以用於對晶圓表麵,背麵及晶圓邊緣的清洗,通過自主創新(xīn)的二流體噴(pēn)嘴技術可將(jiāng)附(fù)著在晶圓表麵的細微顆粒汙染物(wù)去除,實現高效去(qù)除。可提供多個槽體進行化學藥液或純(chún)水,結合(hé)噴淋、溢流、快速衝(chōng)洗等清洗方式,配(pèi)合先...
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全自動槽式清洗機的(de)特點與用途(tú)
2022-04-10 全自動槽式清洗機的特點與用途 全自動槽式清洗機廣泛應用於集成電路、微機電係統和光伏領域裏的CMP後清(qīng)洗工藝。清洗機可以用於對晶圓表麵(miàn),背麵及晶圓邊緣的清洗,通過自主創新的二流體噴(pēn)嘴技術可將附著在晶圓表麵的細微顆粒汙染物去除,實現高效(xiào)去除(chú)。可(kě)提供多個槽體(tǐ)進行化學藥(yào)液或純(chún)水,結合噴淋、溢流、快(kuài)速衝洗等清洗方(fāng)式,配合(hé)先...
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全(quán)自動槽式清洗(xǐ)機的(de)特點與用途
2022-04-10 全自動槽式清(qīng)洗機的特點與用途 全自動槽式清洗機廣泛應用於(yú)集成電路、微機電係統和光伏領域裏的CMP後清洗工藝。清洗機(jī)可以用於對晶圓表麵(miàn),背麵及晶圓邊緣的清洗,通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴(zuǐ)技術可將附著在晶圓表(biǎo)麵的細微顆粒汙染物去除,實現高效去除。可提供多個槽體進行化學藥液或純水,結合噴淋、溢流、快速衝洗(xǐ)等清洗(xǐ)方式,配(pèi)合(hé)先...
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