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全自動水平式濕法刻蝕（shí）設備
全自動水平式濕法刻蝕設備，利用EFEM晶圓傳輸模塊實現（xiàn）晶圓全自動工藝運行.
產品特點
1.產能高，WPH高；
2.優秀的腔體環境；
3.高效的化學品回收係統（tǒng）；
4.支持多種（zhǒng）化學（xué）品；
5.刻蝕均勻性好；
6.優秀的幹（gàn）燥效果。
應用領域
晶圓製造等
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